加速度微光電開關(guān)傳感器和角速微傳感器被統(tǒng)稱為慣性傳感器，是目前應(yīng)用最多的微傳感器，加速度微傳感器主要是指線加速度微傳感器，也稱為線加速度計，在許多行業(yè)包括汽車和肖費電子產(chǎn)品中廣泛應(yīng)用。
加速度微傳感器一般是利用敏感質(zhì)量塊或振動塊來測加速，外部加速度對質(zhì)量塊發(fā)生作用，然后通過測量質(zhì)量塊的位移，質(zhì)量塊對框架的作用力或保待其位置不變所需的力來得出加速度值
關(guān)于加速度微光電開關(guān)傳感器有如下幾點常識
加速度微傳感器一般包括一個質(zhì)量塊，一個彈性環(huán)節(jié)及一個位移微傳感器。
加速度微傳感器的總體性能一般會受到兩方面的限制，一是彈性環(huán)節(jié)的機械性能，如線性，動態(tài)范圍，對其他軸向加速的敏感感特等，二是位移微傳感器的靈敏度
加速度微傳感器的寬帶越高，所需要的位移檢測分辨率越高。 |
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