氧化鋁薄膜露點濕度接近開關(guān)傳感器的氧化層薄膜的厚度是該原理接近開關(guān)傳感器性能的關(guān)鍵，在氣體與液體中直接測量水的分壓非常便利、有效。GE公司制造的探頭所具有的氧化層薄膜厚度使其顯示真正的絕對濕度，而不是相對濕度，同時使得溫度與滯后的影響降至最低，具備快速響應和超常的標注定穩(wěn)定性。其探頭由經(jīng)過一系列特殊工藝陽極電鍍使鋁基表面產(chǎn)生多孔氧化層，并在氧化鋁表面上蒸鍍一層極薄金鍍層。該鋁基與金鍍層形成了兩個電極，使整個結(jié)構(gòu)成為一個氧化鋁電容。水氣快速地滲透過金鍍層，并平衡分布于氧化句號的孔隙壁上。氧化鋁結(jié)構(gòu)吸收的水分子數(shù)量決定了孔隙壁的傳導率。每個孔電阻值提供了一個獨特的、與水的分壓成函數(shù)關(guān)系的阻抗。這個函數(shù)關(guān)系適用于氣體與液體中的水分測量。
例如，某型號氧化鋁薄膜露點濕敏器件，其露點/霜點標注定溫度范圍為-110到-60度。 |
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